Dušik, običajni plin v proizvodnji čipov

Dušik, običajni plin v proizvodnji čipov

• Dušik, običajni plin v proizvodnji čipov
• Dušik se pogosto uporablja pri proizvodnji čipov, zato je poznavanje njegove uporabe in aplikacij ključnega pomena.
• I. Fizikalne lastnosti dušika: Kemijski simbol: N2
• Molekulska masa: 28,01 (splošno velja za 28)
• Specifična teža: 0,967
• Vrelišče: -195,8 stopinj (splošno velja za -196 stopinj)
• Videz: brez barve in vonja
• Vnetljivost: Ne-vnetljivo
• Varnost: Popolnoma zadušljiv in ni -strupen, na splošno ne predstavlja tveganja. Vendar lahko visoke koncentracije povzročijo zadušitev zaradi pomanjkanja kisika. Pazite na puščanje in zagotovite ustrezno prezračevanje.
• Reaktivnost: Zelo stabilen, skoraj nereaktiven. Vendar pa bo reagiral pri visokih temperaturah ali visokih temperaturah in visokih tlakih, da bi ustvaril nitride.
• Uporabni materiali: Ni -jedko za kovine in se lahko uporablja na vseh kovinah. Pri utekočinjenju dušika pa je treba izbrati materiale, ki pri nizkih temperaturah niso krhki. Uporabni so skoraj vsi materiali, kot so plastika, guma itd.

 

II. Uporaba dušika

(1). Ustvarjanje dušika: Dušik je mogoče ekstrahirati z opremo za ločevanje zraka. Lahko se proizvaja v velikih količinah in poceni glede na čistost, ki jo zahteva tovarna, in se dobavlja po cevovodih.

(2). Uporaba dušika: čistilni dušik se lahko uporablja za čiščenje nečistoč in umazanije znotraj in zunaj polprevodniških naprav. Čiščenje lahko z močnim delovanjem zračnega toka hitro očisti napravo in zmanjša poškodbe naprave. Zaščita Med proizvodnjo in transportom polprevodniških naprav je treba materiale v njih zaščititi. Dušik kot inertni plin ima lahko zaščitno vlogo. Med pakiranjem in transportom se za tesnjenje naprave uporablja dušik, da se preprečijo škodljivi učinki, kot sta oksidacija in korozija. Za sušenje materialov se lahko uporablja suhi dušik. Med postopkom sušenja dušik s prisilnim pretokom zraka odstrani površinsko in notranjo vlago. Običajno se uporablja v proizvodnji mikroelektronike, optičnih naprav in prašnih premazov.

 

V proizvodnji polprevodniških naprav se dušik lahko uporablja kot oksidant za površinsko oksidacijo.

Dušik lahko zaradi svoje stabilnosti in razpoložljivosti vzdržuje enakomernost površine naprave, hkrati pa poveča učinkovitost oksidacije in prepreči škodljive učinke kisika.

 

Čiščenje se uporablja za čiščenje opreme in plinovodov. Pri vzdrževanju opreme, ki uporablja strupene pline, se namesto nenadnega odpiranja komore izvede splakovanje z dušikom. Dela se nato izvajajo šele po zagotovitvi varnosti.

 

Vrstni red čiščenja plinovoda je: dejanski plin → čiščenje dušika → atmosfera (obraten vrstni red po vzdrževanju). Zagotoviti je treba varnost, da se prepreči kontaminacija z zrakom, kisikom ali drugimi plini. Redčenje ima dva namena. Ena je nadzor hitrosti oksidacije toplotno oksidnega filma, kot zahteva postopek redčenja oksidacije. Drugi je zmanjšanje koncentracije izpušnih plinov iz opreme, da se zagotovi varnost. Na primer, redčenje izpušnih plinov SiH4 in vodikove zlitine zmanjša koncentracijo izpušnih plinov znotraj spodnje meje eksplozivnosti, da se zagotovi varnost. Osnovni plini se običajno uporabljajo kot osnovni plini v difuzijskih pečeh. Osnovni plini se uporabljajo tudi za prilagajanje koncentracije plinskih jeklenk, na primer z mešanjem SiH4 z 20 % dušika. Inšpekcijski pregledi puščanja se uporabljajo tudi za preverjanje puščanja cevovodov in C/C sistemov v opremi za dušikov tlak.

 

Tehnologija ogrevanja Xida: Reševanje varnostne dileme obdelave odpadnih polprevodniških plinov, zagotavljanje kontinuitete proizvodnje in varnosti opreme

Pri proizvodnji polprevodnikov nastajajo velike količine odpadnih plinov, od katerih so mnogi jedki, piroforni ali potencialno eksplozivni, če so izpostavljeni zraku. Običajno so ti plini razredčeni z dušikom (N₂) v zgodnjih fazah obdelave odpadnih plinov, da se zagotovi koncentracija pod spodnjo mejo eksplozivnosti ali da se zmanjšajo jedki učinki.
Vendar pa mešanje hladnejšega dušika z odpadnimi plini pospeši kondenzacijo in ko se usedline kopičijo, lahko povzročijo nenačrtovane izpade. Ogrevanje dušika je boljša možnost, vendar le, če v sistem ne prihaja do novih uhajanj dušika. Xida Heating Technology to doseže, kar pomeni, da proizvajalcem polprevodnikov ni več treba usklajevati skrbi glede varnosti in morebitnih izpadov, ki jih povzročajo blokade izpušnega sistema.

• Preprečevanje puščanja zmanjša nevarnost eksplozije.
• Preprečevanje kondenzacije skrajša čas nedelovanja pri čiščenju.
• Preprečevanje korozije na ogrevalni opremi, zmanjšanje tveganja okvare opreme.
• Posodobitve postopka povečajo razdaljo, ki jo ogret plin prepotuje, da zagotovijo konstantno temperaturo cevi na dolgih razdaljah.
• Struktura je posodobljena, da zmanjša skupno porabo energije in prihrani elektriko.